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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Comprehensive Evaluation of Geometric Effects on Long-Term Structure Stability of Ti/Au Multi-Layered Micro-Cantilevers toward Gold-MEMS Capacitive Accelerometer 
著者
和文: 宮井 良介, 栗岡 智行, 陳 君怡, Chang Tso-Fu Mark, 大西 哲, CHAKRABORTY P, 町田 克之, 伊藤 浩之, 三宅 美博, 曽根 正人.  
英文: Ryosuke Miyai, Tomoyuki Kurioka, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Akira Onishi, Parthojit Chakraborty, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:49th international conference on Micro and Nano Engineering (MNE2023) 
巻, 号, ページ        
出版年月 2023年9月25日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:49th international conference on Micro and Nano Engineering (MNE2023) 
開催地
和文: 
英文:Berlin 

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