Measurement of areal surface topography using confocal laser microscope with tilted focal plane

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Measurement of areal surface topography using confocal laser microscope with tilted focal plane

著者

和文:	大部徹郎, 原精一郎, 高橋信行.
英文:	Tetsuro Obu, Seiichiro Hara, Nobuyuki Takahashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	ICPE 2022 Proceedings

巻, 号, ページ

出版年月

2022年11月1日

出版者

和文:
英文:	ICPE

会議名称

和文:
英文:	The 19th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2022 in Nara)

開催地

和文:	奈良
英文: