Growth of GaN films by plasma-excited organometallic vapor phase epitaxy

論文・著書情報

タイトル

和文:	Growth of GaN films by plasma-excited organometallic vapor phase epitaxy
英文:	Growth of GaN films by plasma-excited organometallic vapor phase epitaxy

著者

和文:	Wakahara, A, Tokuda, T, Sasaki, A, 德田崇.
英文:	Wakahara, A, Tokuda, T, Sasaki, A, Takashi Tokuda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	Silicon Carbide and Related Materials 1995
英文:	Silicon Carbide and Related Materials 1995

巻, 号, ページ

Vol. 142 pp. 883-886

出版年月

1996年

出版者

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会議名称

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開催地

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