Observation of Negative Piezoelectricity in HfO2-Based Thin Film Capacitors

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Observation of Negative Piezoelectricity in HfO2-Based Thin Film Capacitors

著者

和文:	Pratyush Buragohain, Sangita Dutta, Haidong Lu, Sebastjan Glinšek, Hugo Aramberri, Claudia Richter, Terrence Mittmann, Pamenas Kariuki, 三村和仙, 清水荘雄, 舟窪浩, Uwe Schroeder, Emmanuel Defay.
英文:	Pratyush Buragohain, Sangita Dutta, Haidong Lu, Sebastjan Glinšek, Hugo Aramberri, Claudia Richter, Terrence Mittmann, Pamenas Kariuki, Takanori Mimura, Takao Shimizu, Hiroshi Funakubo, Uwe Schroeder, Emmanuel Defay.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2022年6月27日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2022 ISAF-PFM-ECAPD Joint Conference

開催地

和文:
英文:	Tours