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論文・著書情報


タイトル
和文:SRO/Pt/Si基板上のTa2O5圧電薄膜の低レートにおける成膜と評価 
英文: 
著者
和文: 松浦佳祐, 鈴木雅視, 垣尾省司, 小寺正徳, 舟窪浩.  
英文: 松浦佳祐, 鈴木雅視, 垣尾省司, Masanori Kodera, HIROSHI FUNAKUBO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2022年9月20日 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第83回応用物理学会秋季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:仙台市 
英文: 

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