Deposition and Evaluation of Highly Crystallized Ta2O5 Piezoelectric Thin Film on Pt Crystal Film

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Deposition and Evaluation of Highly Crystallized Ta2O5 Piezoelectric Thin Film on Pt Crystal Film

著者

和文:	Keisuke Matsuura, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, 小寺正徳, 舟窪浩.
英文:	Keisuke Matsuura, Masashi Suzuki, Shoji Kakio, Masanori Kodera, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2022年10月10日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2022 IEEE IUS (International Ultrasonics Symposium)

開催地

和文:
英文:	Venice