1 軸差動型CMOS-MEMS加速度センサのFB電圧による錘変位特性の検討

論文・著書情報

タイトル

和文:	1 軸差動型CMOS-MEMS加速度センサのFB電圧による錘変位特性の検討
英文:	Dependence of proof mass displacement on applied voltage for single differential CMOS-MEMS capacitive accelerometer

著者

和文:	御宿希祐, Tenneti Devi Srujana, 町田克之, 栗岡智行, Tso-Fu Mark Chang, 曽根正人, 三宅美博, 伊藤浩之.
英文:	Kisuke Miyado, Devi.Srujana Tenneti, Katsuyuki Machida, Tomoyuki Kurioka, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
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巻, 号, ページ

p04

出版年月

2023年8月2日

出版者

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会議名称

和文:	第14回集積化MEMS技術研究ワークショップ
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開催地

和文:	愛知県
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