Effect of the incident behavior of carbon ions on the film properties deposited on the three-dimensional object by FCVA method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of the incident behavior of carbon ions on the film properties deposited on the three-dimensional object by FCVA method

著者

和文:	Yuto Tameno, 平田祐樹, Takumi Ishikawa, Takeharu Motokawa, Noriko IIda, 赤坂大樹, 大竹尚登, Hiroshige Matsuoka.
英文:	Yuto Tameno, Yuki Hirata, Takumi Ishikawa, Takeharu Motokawa, Noriko IIda, Hiroki Akasaka, Naoto Ohtake, Hiroshige Matsuoka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2023年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	33rd International Conference on Diamond and Carbon Materials

開催地

和文:
英文:	Mallorca