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論文・著書情報


タイトル
和文:FCVA 法による ta-C 膜の3Dコーティン グ（炭素イオンの入射挙動が膜に及ぼす影響評価） 
英文: 
著者
和文: 為野悠人, 平田祐樹, 石川功, 赤坂大樹, 大竹尚登, 松岡広成.  
英文: 為野悠人, Yuki Hirata, 石川功, Hiroki Akasaka, NAOTO OHTAKE, 松岡広成.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
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巻, 号, ページ        
出版年月 2023年5月 
出版者
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会議名称
和文:トライボロジー会議2023 春 東京 
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開催地
和文: 
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