ネオジウム磁石を用いたマグネトロンスパッタリング源からの アモルファス炭素膜の作製

論文・著書情報

タイトル

和文:	ネオジウム磁石を用いたマグネトロンスパッタリング源からのアモルファス炭素膜の作製
英文:	Deposition of amorphous carbon films by magnetron sputtering with neodymium magnets

著者

和文:	小松原理央, 玉田耕治, 平田祐樹, 大竹尚登, 赤坂大樹.
英文:	Rio Komatsubara, 玉田耕治, Yuki Hirata, NAOTO OHTAKE, Hiroki Akasaka.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会要旨集
英文:	Abst. book of The 84th JSAP Autumn Meeting 2023

巻, 号, ページ

出版年月

2023年9月20日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	The 84th JSAP Autumn Meeting 2023

開催地

和文:	熊本
英文: