ガラスとシリコン上に形成したアモルファス炭素膜のレーザー照射による接合

論文・著書情報

タイトル

和文:	ガラスとシリコン上に形成したアモルファス炭素膜のレーザー照射による接合
英文:

著者

和文:	原田大, 長谷嘉琉, 青野祐子, 平田祐樹, 大竹尚登, 赤坂大樹.
英文:	Dai Harada, Karyu Hase, Yuko Aono, Yuki Hirata, NAOTO OHTAKE, Hiroki Akasaka.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2023年9月27日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第30回機械材料・材料加工技術講演会(M&P2023)
英文:	30th Annual Meeting of M&P 2023

開催地

和文:
英文: