トンネル電極を形成したスパッタ MoS2膜における電流の障壁膜厚依存性

論文・著書情報

タイトル

和文:	トンネル電極を形成したスパッタ MoS2膜における電流の障壁膜厚依存性
英文:

著者

和文:	早川直希, 宗田伊理也, 大橋匠, 松浦賢太朗, 清水淳一, 角嶋邦之, 筒井一生, 若林整.
英文:	Naoki Hayakawa, Iriya Muneta, Takumi Ohashi, Kentaro Matsuura, Junnichi Shimizu, Kuniyuki KAKUSHIMA, KAZUO TSUTSUI, Hitoshi Wakabayashi.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2017年3月16日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第64回応用物理学会春季学術講演会
英文:	64th JSAP Spring meeting

開催地

和文:	横浜
英文:	Yokohama