Ferroelectricity of 20-nm Thick (Al0.8Sc0.2)N Thin Films with TiN Electrodes

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Ferroelectricity of 20-nm Thick (Al0.8Sc0.2)N Thin Films with TiN Electrodes

著者

和文:	大田怜佳, 安岡慎之介, 水谷涼一, 白石貴久, 角嶋邦之, 舟窪浩.
英文:	Reika Ota, Shinnosuke Yasuoka, Ryoichi Mizutani, Takahisa Shiraishi, Kuniyuki Kakushima, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2022年11月13日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2022 U.S.-Japan Seminar on Dielectric and Piezoelectric Ceramics

開催地

和文:
英文:	Charleston, SC