Fabrication of CoFeB–SiO2 Films With Large Uniaxial Anisotropy by Facing Target Sputtering and its Application to High-Frequency Planar-Type Spiral Inductors

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication of CoFeB–SiO2 Films With Large Uniaxial Anisotropy by Facing Target Sputtering and its Application to High-Frequency Planar-Type Spiral Inductors

著者

和文:	高村陽太, 仁田帆南, 河原和馬, 金子忠幸, 石戸亮祐, 宮﨑達也, 細田尚揮, 藤﨑敬介, 中川茂樹.
英文:	Y. Takamura, H. Nitta, K. Kawahara, T. Kaneko, R. Ishido, T. Miyazaki, N. Hosoda, K. Fujisaki, S. Nakagawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEEE Transactions on Magnetics

巻, 号, ページ

Vol. 59 Issue 11 pp. 1-4

出版年月

2023年7月6日

出版者

和文:
英文:	IEEE

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文:

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