対向ターゲット式スパッタ法で成膜したCoFeB-SiO2 を磁性コアとした平面スパイラルインダクタの作製プロセスの改善

論文・著書情報

タイトル

和文:	対向ターゲット式スパッタ法で成膜したCoFeB-SiO2 を磁性コアとした平面スパイラルインダクタの作製プロセスの改善
英文:	Improvement of fabrication process of planar type spiral inductors using a CoFeB-SiO2 magnetic core formed by facing targets sputtering

著者

和文:	仁田帆南, 山中希未斗, 宮﨑達也, 石戸亮祐, 藤﨑敬介, 中川茂樹, 髙村陽太.
英文:	H. Nitta, K. Yamanaka, T. Miyazaki, R. Ishido, K. Fujisaki, S. Nakagawa, Y. Takamura.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電気学会研究会資料
英文:	The Papers of Technical Meeting on "Magnetics", IEE Japan

巻, 号, ページ

pp. 25-30

出版年月

2023年11月7日

出版者

和文:	一般社団法人電気学会
英文:	The Institute of Electrical Engineers of Japan (IEEJ)

会議名称

和文:	マグネティックス研究会テーマ「高周波磁性材料（磁性粉末複合材料）・センサ」
英文:	Technical Meeting on "Magnetics"

開催地

和文:	東京都
英文:	Tokyo

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