A formulation of mask optimization into QUBO model for Ising machines

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A formulation of mask optimization into QUBO model for Ising machines

著者

和文:	小平行秀, Haruki Nakayama, Naoki Nonaka, 松井知己, 高橋篤司, Chikaaki Kodama.
英文:	Yukihide Kohira, Haruki Nakayama, Naoki Nonaka, Tomomi Matsui, Atsushi Takahashi, Chikaaki Kodama.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. SPIE 12751, Photomask Technology 2023, 127511D

巻, 号, ページ

出版年月

2023年11月21日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:	Monterey California

DOI