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論文・著書情報
タイトル
和文:
機械学習による多孔質アモルファス In-Ga-Zn-O 薄膜の成膜条件最適化
英文:
著者
和文:
清水篤
,
井手啓介
,
片瀬貴義
,
平松秀典
,
細野秀雄
,
神谷利夫
.
英文:
Atsushi Shimizu
,
Keisuke Ide
,
Takayoshi Katase
,
hidenori hiramatsu
,
HIDEO HOSONO
,
TOSHIO KAMIYA
.
言語
Japanese
掲載誌/書名
和文:
英文:
巻, 号, ページ
出版年月
2023年11月
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
薄膜材料デバイス研究会第20回研究集会「薄膜材料デバイス研究会が見据える次世代技術・未来デバイス」
英文:
開催地
和文:
英文:
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