機械学習による多孔質アモルファス In-Ga-Zn-O 薄膜の成膜条件最適化

論文・著書情報

タイトル

和文:	機械学習による多孔質アモルファス In-Ga-Zn-O 薄膜の成膜条件最適化
英文:

著者

和文:	清水篤, 井手啓介, 片瀬貴義, 平松秀典, 細野秀雄, 神谷利夫.
英文:	Atsushi Shimizu, Keisuke Ide, Takayoshi Katase, hidenori hiramatsu, HIDEO HOSONO, TOSHIO KAMIYA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2023年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	薄膜材料デバイス研究会第20回研究集会「薄膜材料デバイス研究会が見据える次世代技術・未来デバイス」
英文:

開催地

和文:
英文: