Optimization of deposition parameters for porous a-IGZO thin films using machine learning regression

論文・著書情報

タイトル

和文:	Optimization of deposition parameters for porous a-IGZO thin films using machine learning regression
英文:	Optimization of deposition parameters for porous a-IGZO thin films using machine learning regression

著者

和文:	Atsushi Shimizu, Keisuke Ide, Takayoshi Katase, Hidenori Hiramatsu, Hideo Hosono, Toshio Kamiya.
英文:	Atsushi Shimizu, Keisuke Ide, Takayoshi Katase, Hidenori Hiramatsu, Hideo Hosono, Toshio Kamiya.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2024年2月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	STAC - D2MatE 2024
英文:	STAC - D2MatE 2024

開催地

和文:	つくば
英文:	Tsukuba