Doping of AlN films with 3d transition metal elements

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Doping of AlN films with 3d transition metal elements

著者

和文:	Chen Kai, 春本高志, 史蹟.
英文:	Chen Kai, Takashi Harumoto, Ji Shi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2023年12月9日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2023 Tokyo Institute of Technology - Dalian University of Technology Joint Workshop on Advanced Materials and Chemical Technology

開催地

和文:
英文:	Tokyo