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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Pre-training CNN for fast EUV lithography simulation including M3D effects 
著者
和文: 田邊 容由, 神宮司 明良, 高橋 篤司.  
英文: Hiroyoshi Tanabe, Akira Jinguji, Atsushi Takahashi.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Proc. SPIE 12954, DTCO and Computational Patterning III, 129540I 
巻, 号, ページ        
出版年月 2024年4月10日 
出版者
和文: 
英文:Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers (SPIE) 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 
ファイル
DOI https://doi.org/10.1117/12.3009880

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