Thermal Treatment Effects on Warpage of an Octagonal Electrodeposited-Au Proof Mass with a Ti/Au Multi-layered Structure  Toward High-sensitive Accelerometers

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Thermal Treatment Effects on Warpage of an Octagonal Electrodeposited-Au Proof Mass with a Ti/Au Multi-layered Structure Toward High-sensitive Accelerometers

著者

和文:	森達彦, 栗岡智行, 陳君怡, Chang Tso-Fu Mark, 町田克之, 伊藤浩之, 三宅美博, 曽根正人.
英文:	Tatsuhiko Mori, Tomoyuki Kurioka, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	50th International Micro and Nano Engineering Conference (MNE 2024 Montpellier)

巻, 号, ページ

出版年月

2024年9月16日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	50th International Micro and Nano Engineering Conference (MNE 2024 Montpellier)

開催地

和文:
英文: