論文

• Tatsuhiko Mori, Tomoyuki Kurioka, Shunkai Watanabe, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone. Annealing effects on effective Young’s modulus of Ti/Au multi-layered microcantilevers, Micro and Nano Engineering, Vol. 32, pp. 100367-100367, June 2026.  公式リンク  
  
• Masako Okumura, Tomoyuki Kurioka, Torauto Yamada, Tatsuhiko Mori, Katsuyuki Machida, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone. Single-axis gold micro-electro-mechanical-systems capacitive accelerometer with circular proof-mass for suppressing warpage, Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 65, Number 5, Mar. 2026.  公式リンク  
  

国内会議発表 (査読有り)

• 奥村 雅子, 栗岡 智行, 山田 虎人, 森 達彦, 向出 千隼, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 三宅 美博, 伊藤 浩之, 町田 克之, 曽根 正人. 円形金錘1軸静電容量型MEMS加速度センサの構造とデバイス特性評価, 第73回応用物理学会春季学術講演会, 第73回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2026.

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