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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Single-axis gold micro-electro-mechanical-systems capacitive accelerometer with circular proof-mass for suppressing warpage 
著者
和文: 奥村 雅子, 栗岡 智行, 山田 虎人, 森 達彦, 町田 克之, 陳 君怡, Chang Tso-Fu Mark, 伊藤 浩之, 三宅 美博, 曽根 正人.  
英文: Masako Okumura, Tomoyuki Kurioka, Torauto Yamada, Tatsuhiko Mori, Katsuyuki Machida, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Japanese Journal of Applied Physics 
巻, 号, ページ        
出版年月 2026年2月17日 
出版者
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会議名称
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開催地
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公式リンク https://iopscience.iop.org/article/10.35848/1347-4065/ae4687
 
DOI https://doi.org/10.35848/1347-4065/ae4687

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