論文

• Masako Okumura, Tomoyuki Kurioka, Torauto Yamada, Tatsuhiko Mori, Katsuyuki Machida, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone. Single-axis gold micro-electro-mechanical-systems capacitive accelerometer with circular proof-mass for suppressing warpage, Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 65, Number 5, Mar. 2026.  公式リンク  
  

国際会議発表 (査読有り)

• Torauto Yamada, Chihaya Mukaide, Tomoyuki Kurioka, Katsuyuki Machida, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Yoshihiro Miyake, Masato Sone, Hiroyuki Ito. Miniaturization of High-Sensitivity Gold Single-axis MEMS Accelerometer by Adjusting Spring Constant and Hole Size of Perforated Proof-mass, APCOT 2026, APCOT 2026, June 2026.
• Chihaya Mukaide, Torauto Yamada, Tomoyuki Kurioka, Katsuyuki Machida, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Yoshihiro Miyake, Masato Sone, Hiroyuki Ito. Detection Characteristics in Wide Range Gold Proof-Mass Single-Axis MEMS Capacitive Accelerometer and Its Application, APCOT 2026, APCOT 2026, June 2026.
• Hisashi Takahata, Tomoyuki Kurioka, Torauto Yamada, Chihaya Mukaide, Katsuyuki Machida, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito, Masato Sone. Analytical Modeling of Serpentine Spring for Gold Proof-mass Single-axis MEMS Accelerometer, APCOT 2026, APCOT 2026, June 2026.
• Torauto Yamada, Chihaya Mukaide, Hisashi Takahata, Tomoyuki Kurioka, Katsuyuki Machida, Tso-Fu Mark Chang, Yoshihiro Miyake, Masato Sone, Hiroyuki Ito. A Highly Sensitive Single-Axis Gold MEMS Capacitive Accelerometer Improved with Spring and Proof-Mass Structures, IEEE INERTIAL 2026, The 13th IEEE International Symposium on Inertial Sensors & Systems, IEEE INERTIAL 2026, The 13th IEEE International Symposium on Inertial Sensors & Systems, May 2026.

国内会議発表 (査読有り)

• 奥村 雅子, 栗岡 智行, 山田 虎人, 森 達彦, 向出 千隼, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 三宅 美博, 伊藤 浩之, 町田 克之, 曽根 正人. 円形金錘1軸静電容量型MEMS加速度センサの構造とデバイス特性評価, 第73回応用物理学会春季学術講演会, 第73回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2026.
• 山田 虎人, 向出 千隼, 栗岡 智行, 町田 克之, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 曽根 正人, 三宅 美博, 伊藤 浩之. 長期振動試験によるAu錘1軸MEMS加速度センサの耐久性評価, 第73回応用物理学会春季学術講演会, 第73回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2026.
• 向出 千隼, 山田 虎人, 栗岡 智行, 町田 克之, Chun-Yi Chen, Chang Tso-Fu Mark, 三宅 美博, 曽根 正人, 伊藤 浩之. ワイドレンジAu錘1軸MEMS加速度センサにおける検出範囲の検討, 第73回応用物理学会春季学術講演会, 第73回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2026.
• 高畑 寿志, 栗岡 智行, 山田 虎人, 向出 千隼, 町田 克之, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 三宅 美博, 伊藤 浩之, 曽根 正人. Ti/Au積層九十九折ばねのばね定数に対するTi/Au膜厚の影響評価, 第73回応用物理学会春季学術講演会, 第73回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2026.

[ BibTeX 形式で保存 ]    [ 論文・著書をCSV形式で保存 ]    [ 特許をCSV形式で保存 ]