長期振動試験によるAu錘1軸MEMS加速度センサの耐久性評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	長期振動試験によるAu錘1軸MEMS加速度センサの耐久性評価
英文:

著者

和文:	山田虎人, 向出千隼, 栗岡智行, 町田克之, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 曽根正人, 三宅美博, 伊藤浩之.
英文:	Torauto Yamada, Chihaya Mukaide, Tomoyuki Kurioka, Katsuyuki Machida, Chun Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第73回応用物理学会春季学術講演会
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2026年3月17日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第73回応用物理学会春季学術講演会
英文:

開催地

和文:
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