Detection Characteristics in Wide Range Gold Proof-Mass Single-Axis MEMS Capacitive Accelerometer and Its Application

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Detection Characteristics in Wide Range Gold Proof-Mass Single-Axis MEMS Capacitive Accelerometer and Its Application

著者

和文:	向出千隼, 山田虎人, 栗岡智行, 町田克之, 陳君怡, Chang Tso-Fu Mark, 三宅美博, 曽根正人, 伊藤浩之.
英文:	Chihaya Mukaide, Torauto Yamada, Tomoyuki Kurioka, Katsuyuki Machida, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Yoshihiro Miyake, Masato Sone, Hiroyuki Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	APCOT 2026

巻, 号, ページ

出版年月

2026年6月21日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	APCOT 2026

開催地

和文:
英文: