Miniaturization of High-Sensitivity Gold Single-axis MEMS Accelerometer by Adjusting Spring Constant and Hole Size of Perforated Proof-mass

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Miniaturization of High-Sensitivity Gold Single-axis MEMS Accelerometer by Adjusting Spring Constant and Hole Size of Perforated Proof-mass

著者

和文:	山田虎人, 向出千隼, 栗岡智行, 町田克之, Chang Tso-Fu Mark, 陳君怡, 三宅美博, 曽根正人, 伊藤浩之.
英文:	Torauto Yamada, Chihaya Mukaide, Tomoyuki Kurioka, Katsuyuki Machida, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Yoshihiro Miyake, Masato Sone, Hiroyuki Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	APCOT 2026

巻, 号, ページ

出版年月

2026年6月21日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	APCOT 2026

開催地

和文:
英文: