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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Miniaturization of High-Sensitivity Gold Single-axis MEMS Accelerometer by Adjusting Spring Constant and Hole Size of Perforated Proof-mass 
著者
和文: 山田 虎人, 向出 千隼, 栗岡 智行, 町田 克之, Chang Tso-Fu Mark, 陳 君怡, 三宅 美博, 曽根 正人, 伊藤 浩之.  
英文: Torauto Yamada, Chihaya Mukaide, Tomoyuki Kurioka, Katsuyuki Machida, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Yoshihiro Miyake, Masato Sone, Hiroyuki Ito.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:APCOT 2026 
巻, 号, ページ        
出版年月 2026年6月21日 
出版者
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英文: 
会議名称
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英文:APCOT 2026 
開催地
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英文: 

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