A Highly Sensitive Single-Axis Gold MEMS Capacitive Accelerometer Improved with Spring and Proof-Mass Structures

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Highly Sensitive Single-Axis Gold MEMS Capacitive Accelerometer Improved with Spring and Proof-Mass Structures

著者

和文:	山田虎人, 向出千隼, 高畑寿志, 栗岡智行, 町田克之, Chang Tso-Fu Mark, 三宅美博, 曽根正人, 伊藤浩之.
英文:	Torauto Yamada, Chihaya Mukaide, Hisashi Takahata, Tomoyuki Kurioka, Katsuyuki Machida, Tso-Fu Mark Chang, Yoshihiro Miyake, Masato Sone, Hiroyuki Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEEE INERTIAL 2026, The 13th IEEE International Symposium on Inertial Sensors & Systems

巻, 号, ページ

出版年月

2026年5月10日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	IEEE INERTIAL 2026, The 13th IEEE International Symposium on Inertial Sensors & Systems

開催地

和文:
英文:	Florida