Annealing effects on effective Young’s modulus of Ti/Au multi-layered microcantilevers

論文・著書情報

タイトル

和文:	Annealing effects on effective Young’s modulus of Ti/Au multi-layered microcantilevers
英文:	Annealing effects on effective Young’s modulus of Ti/Au multi-layered microcantilevers

著者

和文:	Tatsuhiko Mori, Tomoyuki Kurioka, Shunkai Watanabe, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone.
英文:	Tatsuhiko Mori, Tomoyuki Kurioka, Shunkai Watanabe, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	Micro and Nano Engineering
英文:	Micro and Nano Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 32 pp. 100367-100367

出版年月

2026年6月8日

出版者

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会議名称

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開催地

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