Electron temperature diagnosis of CF4/O2 plasma  based on fluorine atomic corona model  by tomographic optical emission spectroscopic measurement

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Electron temperature diagnosis of CF4/O2 plasma based on fluorine atomic corona model by tomographic optical emission spectroscopic measurement

著者

和文:	山下雄也, 土居謙太, 清田哲司, 渡邊修平, 島谷和希, 菊地航行, 叶宇晨, 根津篤, 赤塚洋.
英文:	Yuya Yamashita, Kenta Doi, Tetsuji Kiyota, Shuhei Watanabe, Kazuki Shimatani, Wataru Kikuchi, Yuchen Ye, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of ESCAMPIG2024

巻, 号, ページ

出版年月

2024年7月9日

出版者

和文:
英文:	Department of Plasma Physics and Technology of Masaryk University (MUNI)

会議名称

和文:
英文:	ESCAMPIG (Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases) 2024

開催地

和文:	ブルノ
英文:	Brno

公式リンク