Characterization of Structural and Mechanical Properties of DLC Films Deposited on the Surface of Minute-scale 3D Objects: Changes in the incident behavior of carbon ions

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characterization of Structural and Mechanical Properties of DLC Films Deposited on the Surface of Minute-scale 3D Objects: Changes in the incident behavior of carbon ions

著者

和文:	Yuto Tameno, 平田祐樹, Takumi Ishikawa, 赤坂大樹, 大竹尚登, Hiroshige Matsuoka.
英文:	Yuto Tameno, Yuki Hirata, Takumi Ishikawa, Hiroki Akasaka, Naoto Ohtake, Hiroshige Matsuoka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	Surface and Coating Technology
英文:

巻, 号, ページ

490

出版年月

2024年8月

出版者

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会議名称

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開催地

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