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論文・著書情報


タイトル
和文:炭素イオン流成膜法による3次元DLC成膜技術の開発 
英文: 
著者
和文: 黒崎裕介, 平田祐樹.  
英文: Yusuke Kurosaki, Yuki Hirata.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:表面技術 
英文: 
巻, 号, ページ 75       
出版年月 2024年7月 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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