Development of three-dimensional nano-coating technique for ta-C films with FCVA method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of three-dimensional nano-coating technique for ta-C films with FCVA method

著者

和文:	黒﨑裕介, 赤坂大樹, 大竹尚登, 平田祐樹.
英文:	Yusuke Kurosaki, Hiroki Akasaka, Naoto Ohtake, Yuki Hirata.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2024年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	34th International Conference on Diamond and Carbon Materials

開催地

和文:
英文:	Dresden