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論文・著書情報


タイトル
和文:トモグラフィック発光分光計測とアルゴン衝突輻射モデルにもとづくCF4/O2/Arプラズマの電子温度・電子密度・EEDFの位置分布診断 
英文:Positional distribution diagnosis of electron temperature, electron density, and EEDF of CF4/O2/Ar plasma based on tomographic optical emission spectroscopic measurement and argon collisional-radiative model 
著者
和文: 山下 雄也, 土居 謙太, 清田哲司, 叶宇晨, 島谷和希, 何文涛, 羽生陽向, 菊地航行, 櫻井彩貴, 根津篤, 赤塚洋.  
英文: uya Yamashita, Kenta Doi, Tetsuji Kiyota, Yuchen Ye, Kazuki Shimatani, Wentao He, Hinata Hanyu, Wataru Kikuchi, Ayaki Sakurai, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第85回応用物理学会秋季学術講演会 講演要旨集 
英文:Exetnded Abstracts of the 85th JSAP Autumn Meeting 2024 
巻, 号, ページ        
出版年月 2024年9月4日 
出版者
和文:公益社団法人 応用物理学会 
英文:Japan Society of Applied Physics 
会議名称
和文:第85回応用物理学会秋季学術講演会 
英文:The 85th JSAP Autumn Meeting 2024 
開催地
和文:新潟 
英文:Niigata 
公式リンク https://pub.confit.atlas.jp/ja/event/jsap2024a/presentation/20a-A32-5
 
アブストラクト 分子性混合プラズマは，原子分子過程が複雑なため診断が難しい．本研究では，混合プラズマ中の単原子分子の原子分子過程に着目し，診断を実現した．トモグラフィック発光分光計測により取得したCF4/O2/Ar誘導結合プラズマの発光スペクトルを，Ar衝突輻射モデルにより解析した．電子温度，電子密度，一般化電子エネルギー分布関数 (EEDF) を，位置分布として診断した．EEDFは非Maxwellであった．

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