トモグラフィック発光分光計測とAr衝突輻射モデルにもとづくCF4/O2/Arプラズマの診断--他原子種の励起状態分布が診断結果に及ぼす影響

論文・著書情報

タイトル

和文:	トモグラフィック発光分光計測とAr衝突輻射モデルにもとづくCF4/O2/Arプラズマの診断--他原子種の励起状態分布が診断結果に及ぼす影響
英文:

著者

和文:	山下雄也, 土居謙太, 清田哲司, 叶宇晨, 菊地航行, 島谷和希, 何文涛, 羽生陽向, 櫻井彩貴, 根津篤, 赤塚洋.
英文:	Yuya Yamashita, Kenta Doi, Tetsuji Kiyota, Yuchen Ye, Wataru Kikuchi, Kazuki Shimatani, Wentao He, Hinata Hanyu, Ayaki Sakurai, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	「プラズマの分光診断と原子分子素過程の研究フロンティア」「原子分子データ応用フォーラムセミナー」要旨集
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2024年12月8日

出版者

和文:	特定非営利活動法人原子分子データ応用フォーラム
英文:

会議名称

和文:	2024年合同素過程研究会「プラズマの分光診断と原子分子素過程の研究フロンティア」「原子分子データ応用フォーラムセミナー」
英文:	2024 nifs Atomic Process Workshop

開催地

和文:	土岐
英文:	Toki

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