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論文・著書情報


タイトル
和文:（招待講演）Cat-CVD (Hot Wire CVD) 法による微結晶3C-SiC薄膜の作製 
英文: 
著者
和文: 宮島晋介, 山田明, 小長井誠.  
英文: Shinsuke Miyajima, AKIRA YAMADA, MAKOTO KONAGAI.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2004年3月4日 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:アモルファス・ナノ材料第１４７委員会 研究会 
英文: 
開催地
和文: 
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