静電容量型MEMS 加速度センサーのための Ti/Au 積層マイクロカンチレバーの構造安定性に対する熱処理の影響評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	静電容量型MEMS 加速度センサーのための Ti/Au 積層マイクロカンチレバーの構造安定性に対する熱処理の影響評価
英文:

著者

和文:	宮井良介, 栗岡智行, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 町田克之, 伊藤浩之, 三宅美博, 曽根正人.
英文:	Ryosuke Miyai, Tomoyuki Kurioka, Chun Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2024年11月

出版者

和文:
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会議名称

和文:	Future Technologies fromSENDAI 2024 第 16 回集積化ＭＥＭＳシンポジウム
英文:

開催地

和文:
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