プラズモニックカラーシートの伸縮駆動に向けた静電MEMSアクチュエータの製作

論文・著書情報

タイトル

和文:	プラズモニックカラーシートの伸縮駆動に向けた静電MEMSアクチュエータの製作
英文:

著者

和文:	森和哉, 平沢朋幹, 齋藤優人, 藤枝俊宣, 崔容俊, 野田俊彦, 澤田和明, 高橋一浩.
英文:	森和哉, 平沢朋幹, Masato Saito, Toshinori Fujie, 崔容俊, Toshihiko Noda, Kazuaki Sawada, Kazuhiro Takahashi.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2024年11月26日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
英文:

開催地

和文:	仙台
英文: