Positional Distribution Diagnosis of Argon Inductively Coupled Plasma Based on Tomographic Optical Emission Spectroscopic Measurement and Collisional-Radiative Model

論文・著書情報

タイトル

和文:	トモグラフィック発光分光計測と衝突輻射モデルにもとづくアルゴン誘導結合プラズマの位置分布診断
英文:	Positional Distribution Diagnosis of Argon Inductively Coupled Plasma Based on Tomographic Optical Emission Spectroscopic Measurement and Collisional-Radiative Model

著者

和文:	山下雄也.
英文:	Yuya Yamashita.

種別

種別:	学位論文(博士)
国名:	Japan

言語

English

学位授与組織

Institute of Science Tokyo

報告番号

学位授与日

審査員