プロセスばらつきを考慮した交互最小化を用いたソースマスク最適化

論文・著書情報

タイトル

和文:	プロセスばらつきを考慮した交互最小化を用いたソースマスク最適化
英文:

著者

和文:	倉持匡希, 小平行秀, 高橋篤司, 児玉親亮.
英文:	Masaki Kuramochi, Yukihide Kohira, Atsushi Takahashi, Chikaaki Kodama.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電子情報通信学会技術研究報告 (VLD2024-83)
英文:	IEICE Technical Report (VLD2024-83)

巻, 号, ページ

Vol. 124 No. 329 pp. 41-46

出版年月

2025年1月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	VLSI設計技術研究会
英文:	Technical Committee on VLSI Design Technologies

開催地

和文:
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