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論文・著書情報


タイトル
和文:微小圧縮試験による Ti/Au 積層膜上の電解金めっき膜の機械特性評価 
英文: 
著者
和文: 東 智哉, 江川 聡, 吉井 俊貴, 黒子 弘道, 飯間 翔太, 栗岡 智行, 菅野 翔太, Chun Yi-Chen, Tso-Fu Mark Chang, 町田 克之, 伊藤 浩之, 三宅 美博, 曽根 正人.  
英文: Tomoya Higashi, Satoshi Egawa, Toshitaka Yoshii, Hiromichi Kurosu, Shota Iima, Tomoyuki Kurioka, Shota Kanno, Chun Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:応用物理学会春季学術講演会 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2025年3月14日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第72回応用物理学会春季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:千葉 
英文: 

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