Nickel Electroplating Using a Supercritical Carbon Dioxide-Emulsified Nickel Sulfamate Electrolyte toward MEMS Applications

論文・著書情報

タイトル

和文:	Nickel Electroplating Using a Supercritical Carbon Dioxide-Emulsified Nickel Sulfamate Electrolyte toward MEMS Applications
英文:	Nickel Electroplating Using a Supercritical Carbon Dioxide-Emulsified Nickel Sulfamate Electrolyte toward MEMS Applications

著者

和文:	侯文鼎, 栗岡智行, 陳君怡, Chang Tso-Fu Mark, 町田克之, 伊藤浩之, 三宅美博, 曽根正人.
英文:	WENDING HOU, Tomoyuki Kurioka, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	応用物理学会春季学術講演会
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2025年3月14日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第72回応用物理学会春季学術講演会
英文:

開催地

和文:	千葉
英文: