Ta5+-substitution effects on crystal structure and ferroelectric property in HfO2-based films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Ta5+-substitution effects on crystal structure and ferroelectric property in HfO2-based films

著者

和文:	前川芳輝, 三村和仙, Yoshiyuki Inaguma, 内田寛, Yuxian Hu1, 岡本一輝, 舟窪浩.
英文:	Yoshiki Maekawa, Takanori Mimura, Yoshiyuki Inaguma, Hiroshi Uchida, Yuxian Hu1, Kazuki Okamoto, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 63 No. 09SP17 p. 1-8

出版年月

2024年8月15日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI