高感度MEMS加速度センサ実現のための金めっき材料設計

論文・著書情報

タイトル

和文:	高感度MEMS加速度センサ実現のための金めっき材料設計
英文:	Gold plating material design for high-sensitivity MEMS accelerometer

著者

和文:	曽根正人, Tso-Fu Mark Chang, 栗岡智行, 名越貴志, 町田克之, 伊藤浩之, 三宅美博.
英文:	Masato Sone, Tso-Fu Mark Chang, Tomoyuki Kurioka, Takashi Nagoshi, Katsuyuki Machida, HIroyuki Ito, Yoshihiro Miyake.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第16回集積化MEMS技術研究会
英文:	16th Meeting of The stugy group of the Integrated MEMS

巻, 号, ページ

出版年月

2025年6月6日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第16回集積化MEMS技術研究会
英文:	16th Meeting of The stugy group of the Integrated MEMS

開催地

和文:
英文: