Evaluation of annealing effects on the deformation of Ti/Au multi-layered micro-cantilevers

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Evaluation of annealing effects on the deformation of Ti/Au multi-layered micro-cantilevers

著者

和文:	宮井良介, 栗岡智行, 陳君怡, Chang Tso-Fu Mark, 町田克之, 伊藤浩之, 三宅美博, 曽根正人.
英文:	Ryosuke Miyai, Tomoyuki Kurioka, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	Micro and Nano Engineering
英文:	Micro and Nano Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 29 pp. 100333

出版年月

2025年10月

出版者

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会議名称

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開催地

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