Atmospheric linear-type mixed-gas plasma source with low-particle emission for large area surface treatment

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Atmospheric linear-type mixed-gas plasma source with low-particle emission for large area surface treatment

著者

和文:	古谷淳之介, 日原弘喜, 福智魁, 大澤泰樹, 八井田朱音, 沖野晃俊.
英文:	Junnosuke Furuya, Koki Hihara, Kai Fukuchi, Taiki Osawa, Akane Yaida, Akitoshi Okino.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Int. J. Plasma Environ. Sci. Technol.

巻, 号, ページ

Vol. 19 No. 2 e02025(9pp)

出版年月

2025年8月22日

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI