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論文・著書情報


タイトル
和文:次世代半導体微細加工に向けた強偏析性PS-b-PMMA誘導体の開発に関する研究 
英文: 
著者
和文: 前川伸祐.  
英文: Shinsuke Maekawa.  
種別
種別:学位論文(博士)審査の要旨 
国名:日本 
言語 Japanese 
学位授与組織 東京科学大学 
報告番号 甲第299号 
学位授与日 2025/03/26 
審査員 早川 晃鏡, 扇澤 敏明, 松本 英俊, 戸木田 雅利, 相良 剛光.  
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