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論文・著書情報


タイトル
和文:酸窒化ジルコニウムエピタキシャル薄膜の合成と物性評価 
英文:Synthesis and characterizations of zirconium oxynitride epitaxial thin films 
著者
和文: 宮崎 大地, 吉松 公平, 大友 明.  
英文: Daichi Miyazaki, Kohei Yoshimatsu, Akira Ohtomo.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
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巻, 号, ページ        
出版年月 2026年3月17日 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第73回応用物理学会春季学術講演会 
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開催地
和文:東京 
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