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論文・著書情報


タイトル
和文:発光分光法と衝突輻射モデルによるアルゴン誘導結合プラズマの電子エネ ルギー分布関数構築における解析・非パラメータ手法の比較 
英文:Comparison of Analytical and Non-parametric Inversion Approaches for EEPFs in Ar ICP based on OES and CRM 
著者
和文: 叶宇晨, 土居謙太, 清田哲司, 菊地航行, 何文涛, 島谷和希, 羽生陽向, 山下雄也, 根津篤, 赤塚洋.  
英文: Yuchen Ye, Kenta Doi, Tetsuji Kiyota, Wataru Kikuchi, Wentao He, Kazuki Shimatani, Hinata Hanyu, Yuya Yamashita, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文:第73回応用物理学会春季学術講演会 予稿集 
英文:Extended Abstracts of the 73rd JSAP Spring Meeting 2026 
巻, 号, ページ         p. 08-081
出版年月 2026年3月4日 
出版者
和文:公益社団法人 応用物理学会 
英文:Japan Scociety of Applied Physics 
会議名称
和文:第73回応用物理学会春季学術講演会 
英文:The 73rd JSAP Spring Meeting 2026 
開催地
和文:東京 
英文:Tokyo 
公式リンク https://pub.confit.atlas.jp/ja/event/jsap2026s/presentation/17p-PB3-10
 
アブストラクト 低圧プラズマ中の非マクスウェル電子エネルギー分布推定に関し、従来の形状仮定を排したスプライン法による非パラメータ的手法を提案した。アルゴン誘導結合プラズマ放電の解析により、本手法がマクスウェル分布等では捉えきれない高エネルギーテールの減少を、より高精度かつ自由度の高いアプローチで捉え得る可能性を示した。

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