Piezoelectric micropatterns fabricated by femtosecond laser processing for d33-mode piezoelectric MEMS

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Piezoelectric micropatterns fabricated by femtosecond laser processing for d33-mode piezoelectric MEMS

著者

和文:	Song Jundong, Hiumi Terashima, Naoki Shibao, Takashi Nakajima, Takashi Iijima, Xi Yu, 春本高志, 史蹟, Shingo Ono, Soichiro Okamura.
英文:	Jundong Song, Hiumi Terashima, Naoki Shibao, Takashi Nakajima, Takashi Iijima, Xi Yu, Takashi Harumoto, Ji Shi, Shingo Ono, Soichiro Okamura.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

139 044102

出版年月

2026年1月23日

出版者

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会議名称

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開催地

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